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砂輪片腐蝕性能的檢測分析

文章作者:ownpowerkefu

發表時間:2015-12-07 11:25:22

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[導讀:]砂輪片腐蝕性能的檢測分析 磨光片腐蝕A/B:經切片及研磨等機械加工后,晶片表面受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產生廢堿液。本項目..

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砂輪片腐蝕性能的檢測分析

        磨光片腐蝕A/B:經切片及研磨等機械加工后,晶片表面受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產生廢堿液。本項目一部分硅片采用腐蝕A,一部分采用腐蝕B。
  磨光片分檔監測:對硅片進行損傷檢測,存在損傷的硅片重新進行腐蝕。
  粗磨光片:使用一次研磨劑去除損傷層,一般去除量在10~20um。此處產生粗拋廢液。
  精磨光片:使用精磨劑改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,從而的到高平坦度硅片。產生精拋廢液。
  檢測:檢查硅片是否符合要求,如不符合則從新進行拋光或RCA清洗。
  檢測:查看硅片表面是否清潔,表面如不清潔則從新刷洗,直至清潔.碳鋼法蘭。
  包裝:將單晶硅磨光片進行包裝。

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